Tải bản đầy đủ - 0 (trang)
Cảm biến áp trở silic

Cảm biến áp trở silic

Tải bản đầy đủ - 0trang

7. Cảm biến áp trở silic

• Điện trở: các mẫu cắt từ đơn tinh thể silic pha tạp P

hoặc N, kích thước: dài ~ 0,1 2 mm và chiều dày ~

0,01mm.

• Đế cách điện: nhựa.

• Để tăng tín hiệu có thể ghép nối tiếp, song song

nhiều mảnh cắt.



7. Cảm biến áp trở silic

b) Loại khuếch tán:

SiO2



Dây

nối



Điện trở

(Si-P)

Đế

(Si-N)



• Điện trở: silic pha tạp loại P (hoặc N).

• Đế: silic pha tạp loại N (hoặc P).

• Lớp tiếp giáp P – N phân cực ngược.



Nguyên lí làm việc

Dựa vào độ biến thiên của điện trở để xách định biến dạng của đối

tượng



7. Cảm biến áp trở silic

• Điện trở của cảm biến:

R 



Với



.l



S

S

l

 2

S

l



R l S 

 



R

l

S





;





l

 Y



l





(: hệ số áp điện trở)



R

l

l

 1  2   Y 

K .

R

l

l



Với K 1  2  Y 100 200  Hệ số đầu đo



7. Cảm biến áp trở silic

3.2. Đặc điểm:

a) Điện trở (R):

• Phụ thuộc độ pha tạp:

1



q( nn   pp)



• Phụ thuộc nhiệt độ:

tăng khi T <120oC (R>0),

giảm khi T>120oC (R<0),



 (.cm)

1

10-1

10-2

10-3

1014 1015 1016 1017 1018 1019

Nồng độ tạp chất/cm3

 (.cm)

7

6

5

4

3

2

-100



1014

1016

1018

1020

0 100 200 300 400 500

ToC



7. Cảm biến áp trở silic

b) Hệ số đầu đo (K):

• Lớn: K = 100  200.

• Phụ thuộc vào độ pha tạp: độ pha

tạp tăng  K giảm.

• Phụ thuộc vào nhiệt độ: nhiệt độ

tăng  K giảm, độ pha tạp lớn

(Nd>1020/cm3) K ít phụ thuộc.



K

240

200

180

160

120

80

40



1017/cm3

5.1018

3.1019

1020



-100 0



100 200 300 400 500 600



To C

Sự phụ thuộc của K

vào độ pha tạp và nhiệt độ



K K 1  K 2  K 2 2

• Phụ thuộc độ biến dạng:

Khi  nhỏ  có thể coi K = const.



Câu 8: Nguyên lí đo lực đựa trên hiệu ứng áp điện,

CB thạch anh đo lực



8. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động

 Nguyên lý hoạt đông: dựa trên cơ sở hiêu ứng áp

điên: Dưới tác dụng của lực cơ học, tấm áp điện bị

biến dạng, làm xuất hiện trên hai bản cực các điện

tích trái dấu. Hiệu điện thế xuất hiện giữa hai bản

cực (V) tỉ lệ với lực tác dụng (F).

F



+Q



++++++++++

- - - - - - - - - F



+

V~ F



-Q







8. CB thạch anh kiểu vòng đệm

a) Cấu tạo:

2

1



3



1. Các vòng đệm

2. Các tấm đế

3.Đầu nối dây







Các vòng đêm: phiến cắt từ đơn tinh thể thạch anh,

nhạy với lực nén dọc theo chiều trục.



Tài liệu bạn tìm kiếm đã sẵn sàng tải về

Cảm biến áp trở silic

Tải bản đầy đủ ngay(0 tr)

×